アクティブ・マトリックス・ピクセル電極の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-524726
公開番号（公開出願番号）：特表平9-510797
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】本発明はアクティブ・マトリックス・ディスプレー用のピクセル電極(44)を製造する方法に関し、この方法は、絶縁基板上に位置するケイ素薄層(10)にトランジスタ回路の配列を形成させそしてこのアクティブ・マトリックス回路を光学的に透過性を示す基板(24)上に移すことを含む。このアクティブ・マトリックス回路を移すに先立ってカラーフィルター要素の配列を形成させることができ、これを該ディスプレーの光源と該ピクセル電極の配列の間に整列させることでカラーディスプレーを得ることができる。

請求項（抜粋）：

アクティブ・マトリックス・ディスプレーを製造する方法であって、第一基板上の半導体層を用いてトランジスタ回路の配列を形成させ、この半導体層にピクセル電極領域を限定する開口部を持たせ、該ピクセル電極領域の各々にピクセル電極の配列を形成させ、各ピクセル電極を該トランジスタ回路の1つに電気連結させ、そしてこのトランジスタ回路の配列およびピクセル電極の配列を該第一基板から第二基板上に移す、ことを含む方法。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (2件)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 Z

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭63-101830
特開平1-181570
特開平4-170520

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