特許
J-GLOBAL ID：200903059933711773
走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードの測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-039085
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243618
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：
【要約】【課題】 走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードにおいて、集光効率のよい測定方法を得る。【解決手段】 プローブをサンプルに対して垂直方向に加振させながら、プローブに入射する光に変調を掛け、プローブ先端がサンプルに最も近づいた状態よりも遠ざかった位置でプローブ先端から光を照射し、そのときのサンプルからの反射光をロックイン検出する。
請求項（抜粋）：
先端が先鋭化され、先端部に微小開口を有し、プローブの長軸方向に対して先端を屈曲させたプローブと、サンプルに対して前記プローブ先端を垂直方向に振動させる加振手段と、前記プローブにカップリングされ、微小開口部からサンプルに対して光を照射するための光源と、前記光源からの光を前記プローブの振動周期と同期して振幅変調する光変調手段と、前記光変調手段での位相または間欠率を変化させる移相器と、前記プローブの変位を検出する変位検出手段と、サンプルからの反射光を検出可能な位置に配置された集光光学系と、反射光強度を測定するための光検出器と、前記サンプルと前記プローブを相対移動させる粗動機構および微動機構と、装置全体を制御する制御装置を有する走査型近接場顕微鏡において、プローブ先端がサンプルに最も近づいた状態よりも遠ざかった位置で、プローブ先端から光を照射し、そのときのサンプルからの反射光をロックイン検出することを特徴とする走査型近接場顕微鏡におけるイルミネーション反射モードの測定方法。
引用特許：
審査官引用 (1件)
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近接場光学顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-283359
出願人：キヤノン株式会社
引用文献：
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