特許

J-GLOBAL ID：200903059956060443

有機着色薄膜の製造法

発明者： 高口 健二 ,  冨永 宏 ,  垣本 信生 ,  村山 洋一 ,  柏木 邦宏
出願人/特許権者： 日本ペイント株式会社 ,  科学技術振興事業団 ,  村山 洋一 ,  柏木 邦宏
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189862
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 耐熱性を向上させかつ優れた光学特性を発揮できる有機着色薄膜、およびそれを有するカラーフィルター、並びにそのようなカラーフィルターをオールドライプロセスで製造するパターニング方法の提供。【解決手段】 真空蒸着装置内において、ヘリウムプラズマ雰囲気下、蒸発源を加熱することによりその中に導入した有機顔料を昇華または蒸発させ、その上部に配置した基板表面の所定の位置に付着させて有機着色薄膜を成膜させる方法。

請求項（抜粋）：

真空蒸着装置内において、ヘリウムプラズマ雰囲気下、蒸発源を加熱することによりその中に導入した有機顔料を昇華または蒸発させ、その上部に配置した基板表面の所定の位置に付着させて有機着色薄膜を成膜させる方法。

IPC (4件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/32 ,  G02F 1/1335 505

FI (5件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 E ,  C23C 14/24 N ,  C23C 14/32 A ,  G02F 1/1335 505