特許

J-GLOBAL ID：200903059960648838

感放射線性樹脂組成物、その層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成への使用、ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズ

発明者： 竹内 信弘 ,  丹羽 一明 ,  遠藤 昌之
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-174948
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354822
出願日： 2000年06月12日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【課題】 高い感放射線性を有し、耐熱性、耐溶剤性に優れたパターン状薄膜を容易に形成できる感放射線性樹脂組成物、およびそれから形成される層間絶縁膜、マイクロレンズを提供すること。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)マレイミド系モノマー及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジアジド化合物が含有されていることを特徴とする。層間絶縁膜、およびマイクロレンズは、上記の感放射線性樹脂組成物より形成される。

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、(a3)マレイミド系モノマー及び(a4)その他のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、並びに[B]1,2-キノンジアジド化合物が含有されていることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (8件)：

C08L 35/00 ,  C08K 5/28 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/768

FI (8件)：

C08L 35/00 ,  C08K 5/28 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 A ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 503 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/90 S

Fターム (24件)：

2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  4J002BC041 ,  4J002BG011 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BH021 ,  4J002CD191 ,  4J002EQ036 ,  4J002FD146 ,  5F033QQ01 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ74 ,  5F033RR27 ,  5F033SS22

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-350470   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 表示パネルスペーサー用感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-348354   出願人：ジェイエスアール株式会社
• カラーフィルタ用感放射線性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-124776   出願人：ジェイエスアール株式会社
• マイクロ集光レンズ形成用感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-143378   出願人：東ソー株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-100920   出願人：富士フイルムアーチ株式会社