特許
J-GLOBAL ID：200903059968754505

蛍光X線分析装置

発明者：
小関雅人

小関雅人 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について

, 
日本電子エンジニアリング株式会社

日本電子エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085887
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283933
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 ソフトウエア的に回折X線を取り除き、定性分析精度、定量分析精度、定量再現性を向上させる。【解決手段】 試料にX線を照射し、試料から発する蛍光X線をエネルギー分散型検出器11で検出し、検出されたスペクトルデータから試料を構成している元素の含有量を測定する蛍光X線分析装置において、予め標準試料によって測定して得た蛍光X線スペクトルデータベース13と回折X線スペクトルデータベース14を有し、測定した蛍光X線スペクトルデータに対し、前記蛍光X線スペクトルデータベース13、回折X線スペクトルデータベース14を参照し、蛍光X線同士の重なり、蛍光X線と回折X線との重なりを比較演算して分離し、蛍光X線スペクトルを算出する分析処理手段12を備えるようにしたものである。
請求項（抜粋）：
試料にX線を照射し、試料から発する蛍光X線をエネルギー分散型検出器で検出し、検出されたスペクトルデータから試料を構成している元素の含有量を測定する蛍光X線分析装置において、予め標準試料によって測定して得た蛍光X線スペクトルデータベースと回折X線スペクトルデータベースを有し、測定した蛍光X線スペクトルデータに対し、前記蛍光X線スペクトルデータベース、回折X線スペクトルデータベースを参照し、蛍光X線同士の重なり、蛍光X線と回折X線との重なりを比較演算して分離し、蛍光X線スペクトルを算出する分析処理手段を備えたことを特徴とする蛍光X線分析装置。
IPC (2件)：
G01N 23/223 ,  G01T 1/36
FI (2件)：
G01N 23/223 ,  G01T 1/36 A
Fターム (15件)：
2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001FA01 ,  2G001FA17 ,  2G001GA01 ,  2G001KA01 ,  2G001NA06 ,  2G001NA15 ,  2G001NA17 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088LL30
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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