光触媒体の作製方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大島泰甫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-301475
公開番号（公開出願番号）：特開2000-126613
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】スパッタ法によって光触媒活性の経時劣化が生じない光触媒体を作製する。【解決手段】ターゲット2に酸化チタンを用い、アルゴンと酸素の混合ガスをスパッタリング装置への混入ガスとして用い、導入ガスのガス圧を10mTorrより高くして、混合ガスプラズマにより酸化チタンの成膜を行う。あるいは、ターゲット2に金属チタンを用い、アルゴンと酸素の混合ガスをスパッタリング装置への混入ガスとして用い、導入ガスのガス圧を10mTorrより高くして、混合ガスプラズマによる反応性スパッタリングによりアナターゼ型結晶の酸化チタンの成膜を行う。

請求項（抜粋）：

スパッタ法により基板上に金属酸化物からなる光触媒膜を形成するとき、導入ガスを10mTorrより高い高ガス圧にすることを特徴とする光触媒体の作製方法。

IPC (5件)：

B01J 35/02 ZAB , B01J 21/06 , B01J 37/02 301 , B01J 37/02 , C23C 14/08

FI (5件)：

B01J 35/02 ZAB J , B01J 21/06 M , B01J 37/02 301 P , B01J 37/02 301 J , C23C 14/08 J

Fターム (23件)：

4G069AA03 , 4G069BA04A , 4G069BA04B , 4G069BA48A , 4G069BC13B , 4G069BD03B , 4G069BD05B , 4G069CA01 , 4G069CA10 , 4G069CA17 , 4G069DA06 , 4G069EA08 , 4G069FB02 , 4G069FC02 , 4G069FC07 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA48 , 4K029BB01 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DC03 , 4K029DC05

引用特許：

審査官引用 (4件)

積層体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-089657 出願人：旭硝子株式会社
光触媒
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-146721 出願人：株式会社ブリヂストン
光触媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-146723 出願人：株式会社ブリヂストン

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