特許

J-GLOBAL ID：200903059981543017

表面検査装置

発明者： 大澤 孝治 ,  高橋 達史 ,  夏目 勝弘 ,  三浦 享博
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-310962
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144648
出願日： 2002年10月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】高精度に表面形状情報を得ることができる表面検査装置を提供すること。【解決手段】干渉縞形成用の光学素子と被測定物とにより形成される干渉縞像を撮像し、該干渉縞像を基に被測定物の表面形状を検査する表面検査装置において、被測定物の測定面を略垂直方向に立てた状態で被測定物を略垂直方向に移動する移動手段を備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

干渉縞形成用の光学素子と被測定物とにより形成される干渉縞像を撮像し、該干渉縞像を基に被測定物の表面形状を検査する表面検査装置において、被測定物の測定面を略垂直方向に立てた状態で被測定物を略垂直方向に移動する移動手段を設けたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01B11/30 ,  G01N21/958 ,  H01L21/68

FI (3件)：

G01B11/30 101A ,  G01N21/958 ,  H01L21/68 K

Fターム (44件)：

2F065AA47 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC18 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065PP11 ,  2F065UU04 ,  2G051AA90 ,  2G051AB10 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BB20 ,  2G051CA04 ,  2G051CC20 ,  2G051DA05 ,  5F031CA07 ,  5F031FA21 ,  5F031HA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA45 ,  5F031HA52 ,  5F031HA53 ,  5F031JA01 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA32 ,  5F031JA33 ,  5F031JA45 ,  5F031KA06 ,  5F031LA10 ,  5F031LA11 ,  5F031LA15 ,  5F031MA33 ,  5F031PA14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-047209
  
• 電解用極板の平坦度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-348232   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 基板ハンド、搬送装置、検査装置および平面基板収納装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-048660   出願人：株式会社ニコン