液晶表示装置の電極構造及びその形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-188345
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015649
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】複雑な工程を用いることなしに液晶駆動電極の分離と平坦化を同時に行なうことができる液晶表示装置の電極構造の形成方法を提供する。【構成】液晶表示装置の電極構造の形成方法において、基板5上にスイッチング素子1とこのスイッチング素子駆動用の配線を施した後にその表面全体に絶縁膜11を形成する工程と、この絶縁膜11を平坦化する工程と、液晶駆動電極12を形成すべき領域の絶縁膜を所定の深さまで凹部状に除去する工程と、この絶縁膜を除去した深さ以上の厚さで、前記液晶駆動電極用の金属膜15を形成する工程と、この金属膜を前記絶縁膜の上端が露出するまで研磨して前記液晶駆動電極をパターン化する工程とを備える。この場合、金属膜の研磨をCMPにより行ない、電極の平坦化と分離操作を同時に行なう。

請求項（抜粋）：

液晶表示装置の電極構造の形成方法において、基板上にスイッチング素子とこのスイッチング素子駆動用の配線を施した後にその表面全体に絶縁膜を形成する工程と、この絶縁膜を平坦化する工程と、液晶駆動電極を形成すべき領域の絶縁膜を所定の深さまで凹部状に除去する工程と、この絶縁膜を除去した深さ以上の厚さで、前記液晶駆動電極用の金属膜を形成する工程と、この金属膜を前記絶縁膜の上端が露出するまで研磨して前記液晶駆動電極をパターン化する工程とを備えたことを特徴とする液晶表示装置の電極構造の形成方法。

IPC (5件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (4件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 C , H01L 29/78 627 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-172930
特開平4-115226
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-231283 出願人：株式会社東芝

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