複合構造物形成用ノズル、複合構造物形成装置および複合構造物形成方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-130638
公開番号（公開出願番号）：特開2002-320879
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月05日
要約：

【要約】【課題】噴射される速度の遅い微粒子を排除できる構造のノズルを提供する。【解決手段】ノズルは、ノズル本体301とその上部の開口部302とその上方に配置された変向板303とで構成され、変向板303のスリット幅はノズル開口の長手方向の幅に対して同じか若しくはそれ以下である。開口部302からは速度の速い微粒子と速度の遅い微粒子が噴射され、速度の遅い微粒子は放射状に広がるが、ノズル開口部302の長手方向の両側から噴射された速度の遅い微粒子は変向板に衝突して変向するため、基板には到達しない。従って、速度の速い微粒子のみが基板上にアンカー層を形成するため、均一・均質かつ密着強度の良好な構造物を得ることが可能となった。

請求項（抜粋）：

微粒子を基材に向けて噴射させて前記基材表面に前記微粒子の構成材料からなる構造物を形成させる複合構造物形成用ノズルにおいて、前記ノズルは、ノズル本体と、微粒子を導入するための導入部と、微粒子を噴射させるための開口部と、該開口部より下流側に設けられ、前記開口部より噴射した微粒子流束のうちの外周部にあたる速度の遅い流束成分の一部または全部を基板に到達させないようにするための変向板とを具備し、前記変向板はノズル本体に固定されていることを特徴とする複合構造物形成用ノズル。

IPC (6件)：

B05B 1/28 , B05B 1/04 , B05B 15/04 103 , B05D 1/12 , B05D 1/32 , C23C 24/04

FI (6件)：

B05B 1/28 , B05B 1/04 , B05B 15/04 103 , B05D 1/12 , B05D 1/32 Z , C23C 24/04

Fターム (27件)：

4D073AA01 , 4D073BB06 , 4D073DB04 , 4D073DB18 , 4D073DB19 , 4D075AA01 , 4D075AD16 , 4D075CA47 , 4D075EA02 , 4D075EB01 , 4F033AA01 , 4F033BA05 , 4F033CA02 , 4F033DA01 , 4F033EA01 , 4F033LA01 , 4K044AA01 , 4K044AA02 , 4K044AA06 , 4K044AA13 , 4K044BA01 , 4K044BA11 , 4K044BA13 , 4K044CA23 , 4K044CA27 , 4K044CA53 , 4K044CA71

引用特許：

審査官引用 (6件)

微細造形方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027162 出願人：工業技術院長
特開昭62-163758
特公昭47-044083

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