特許
J-GLOBAL ID：200903060021712300

処理装置およびその方法、ロボット装置

発明者：
宮迫 久顕

宮迫 久顕 について


出願人/特許権者：
株式会社芝浦製作所

株式会社芝浦製作所 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288376
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135304
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 この発明は複数の処理部を小さなスペ-スで設置できるようにした処理装置を提供することにある。【解決手段】 被処理物を処理するための処理装置において、 上下二段に配置された複数の処理部と、上段あるいは下段のどちらか一方の一端に位置する処理部に対向して配置され未処理の被処理物を保持したロ-ダ部4と、上段あるいは下段の他方の一端に位置する処理部に対向して配置され処理済みの被処理物が格納されるアンロ-ダ部73と、上下動自在に配置され上記ロ-ダ部から上段あるいは下段のどちらか一方の一端に位置する処理部へ未処理の被処理物を供給する第1の受け渡し手段6と、上下動自在に配置され上段あるいは下段のどちらか一方の他端に位置する処理部から被処理物を受けてその被処理物を他方の他端に位置する処理部へ供給する第2の受け渡し手段31とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の処理部を有し、これら処理部に被処理物を順次搬送することで処理する処理装置において、上記複数の処理部は上下二段に配置されていることを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 341
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/304 341 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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