特許

J-GLOBAL ID：200903060042953359

露光装置

発明者： 小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052440
公開番号（公開出願番号）：特開平9-223661
出願日： 1996年02月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】 露光すべきパターンの形状に応じて二次光源の形状を変更しても、被露光面における照度均一性と照明光の垂直性とを同時に満たすことのできる露光装置。【解決手段】 複数のレンズエレメントの各々に入射する照明光の感光基板上における照度をほぼ均一にするとともに、光軸に関して点対称に位置する2つのレンズエレメントに入射する照明光の感光基板上における照度を互いにほぼ等しくするために、フライアイレンズの各レンズエレメントに入射する照明光の強度分布を補正する。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクを照明し、前記マスクのパターン像を感光基板上に形成する露光装置において、照明光を供給するための光源手段と、光軸に関して点対称に配置された複数のレンズエレメントからなり、前記感光基板とほぼ共役に位置決めされた入射面を有し、前記光源手段からの光束に基づいて複数の光源像を形成するためのフライアイレンズと、前記複数の光源像からの光束を可変の開口形状に基づいて制限するための開口絞りと、前記開口絞りを介した前記複数の光源像からの光束を集光して前記マスクを重畳的に照明するためのコンデンサー光学系と、前記複数のレンズエレメントの各々に入射する照明光の前記感光基板上における照度をほぼ均一にするとともに、前記光軸に関して点対称に位置する2つのレンズエレメントに入射する照明光の前記感光基板上における照度を互いにほぼ等しくするために、前記フライアイレンズの各レンズエレメントに入射する照明光の強度分布を補正するための補正手段とを備えていることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345160   出願人：日本電気株式会社
• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-236939   出願人：株式会社ニコン