特許

J-GLOBAL ID：200903077539063993

露光装置

発明者： 東内 圭一郎
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 桑井 清一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-345160
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183200
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 選択可能な複数の光源形状に対して、レチクル面上の照度均一性を向上させた露光装置を提供する。【構成】 露光装置の照明系にて、形状の異なる複数の有効光源6を持つ。レチクル12上の照度均一化のため、フライアイレンズ5および照度均一性調整用のフィルタ13を有する。フィルタ13の位置は、レチクル12と共役な位置で、フライアイレンズ5の入射側の直前とする。フライアイレンズ5は要素レンズ15を配列して構成する。フィルタ13はフライアイレンズの各要素レンズに対応する要素フィルタを配列して構成する。フィルタの位置は視野絞り9の近くとしてもよい。フィルタ5は有効光源の切替と連動させ、複数の光源形状に対して、最適な照度均一性調整が可能となる。この結果、半導体装置の品質、製造歩留まりが向上する。

請求項（抜粋）：

レチクルの像を基板上に投影露光する露光装置の照明系において、形状の異なる複数の有効光源を持ち、レチクル面上での照度均一化のため、第1の手段としてフライアイレンズを、第2の手段として照度均一性調整用のフィルタを用いることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-349162   出願人：株式会社東芝