粉末原料の製造方法およびターゲット材の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-162795
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342506
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】ターゲットの使用と再生、すなわちリサイクルのための加工に導入した不純物を再度取り除くこと、あるいは再生加工中に不純物を導入しないことである。【解決手段】スパッタリングを行った後の高純度廃却ターゲットを出発原料とし、高純度かつ組織微細均一の粉末原料を作製し、それを用いてターゲットを安価に製造することも可能な粉末原料の製造方法および、これを用いたターゲット材の製造方法を提供する。

請求項（抜粋）：

金属ブロックを粉砕し、得られた粉末を熱プラズマ中に通し、球状化及び高純度化して粉末原料とすることを特徴とする粉末原料の製造方法。

IPC (4件)：

B22F 9/04 , B22F 1/00 , B22F 9/14 , C23C 14/34

FI (4件)：

B22F 9/04 A , B22F 1/00 R , B22F 9/14 Z , C23C 14/34 A

Fターム (23件)：

4K017AA04 , 4K017BA02 , 4K017BA04 , 4K017BA07 , 4K017CA01 , 4K017DA09 , 4K017EA03 , 4K017EF02 , 4K017EG04 , 4K018AA02 , 4K018AA19 , 4K018AA21 , 4K018AA40 , 4K018BA01 , 4K018BA03 , 4K018BA09 , 4K018BB03 , 4K018BC06 , 4K018EA13 , 4K018KA29 , 4K029DC03 , 4K029DC04 , 4K029DC09

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-045309
希土類を含有する再生ターゲット材とその再生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-360567 出願人：三菱マテリアル株式会社
電子ビーム励起プラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-091850 出願人：理化学研究所, 川崎重工業株式会社

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