特許

J-GLOBAL ID：200903060062915640

電子顕微鏡観察用試料支持部材

発明者： 吉川 秀之
出願人/特許権者： NECトーキン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-106368
公開番号（公開出願番号）：特開2009-259556
出願日： 2008年04月16日
公開日（公表日）： 2009年11月05日
要約：

【課題】 FIB加工で試料からより微小な試料片を摘出し、電子顕微鏡観察用試料に加工する際に、FIBのイオンビームが微小試料片固定用の電子顕微鏡観察用試料支持部材に照射されず、試料への再付着が生じない電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することにある。【解決手段】 薄片固定部5が微小試料片2よりも充分に薄いため、イオンビーム6を傾斜し微小試料片2の中央部の電子顕微鏡観察用試料部に照射しても薄片固定部5を削らないようにしての加工が可能となり、これにより薄片固定部5からの微小粉末の発生も生じないため、観察試料への再付着も起こらない。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

集束イオンビームで、試料から摘出した微小試料片を、電子顕微鏡観察用試料片に加工する際に、摘出した前記微小試料片を固定するための戴置面が平坦な試料片固定部を有する電子顕微鏡観察用試料支持部材であって、電子顕微鏡で観察するために、前記集束イオンビームで薄片化された前記電子顕微鏡観察用試料片の中央部が戴置される、前記試料片固定部の薄片固定部の厚さが、前記電子顕微鏡観察用試料片の中央部の厚さよりも薄いことを特徴とする電子顕微鏡観察用試料支持部材。

IPC (2件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28

FI (4件)：

H01J37/20 A ,  G01N1/28 W ,  G01N1/28 F ,  G01N1/28 G

Fターム (13件)：

2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052DA33 ,  2G052EC14 ,  2G052EC18 ,  2G052EC22 ,  2G052GA19 ,  2G052GA34 ,  5C001AA01 ,  5C001CC04 ,  5C001CC08 ,  5C001DD01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 試料作製方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-270800   出願人：株式会社日立製作所
• 電子顕微鏡観察用試料支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-301996   出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ