超音波洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大塚学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093934
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283183
出願日： 1994年04月08日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】【目的】500kHz以上の周波数を用いた超音波洗浄装置の洗浄効果を向上させる。【構成】洗浄液供給口2と細長いスリット状の噴射口3を有する本体ケース1の内部に固定された振動源ケース4の下面の振動板5の放射面と噴射口3との距離Lが、長方形平板状の圧電振動子6の幅を2dとし、洗浄液中の超音波振動の波長をλとしたとき、L=0.4(d2 /λ)〜2(d2 /λ)となるように設定した。【効果】振動放射面から放射される超音波エネルギがスリット状噴射口3に集束されるため洗浄効果が向上する。

請求項（抜粋）：

底面に細長いスリット状噴射口が設けられ側面に設けられた供給口から加圧供給される洗浄液が前記噴射口から噴射するように構成された本体ケースと、該本体ケースに前記噴射口と所定の間隔(L)を保って平行に固定され、前記噴射口に対応した細長い底面の振動板から前記洗浄液中に該噴射口に対して500 kHz 以上の周波数の超音波振動を放射する振動源とを備え、前記振動板に固着された長方形の平板状超音波圧電振動子の短辺の長さを(2d)とし、前記洗浄液中の超音波振動の波長をλとしたとき、前記所定の間隔(L)が、L=0.4×(d2 /λ)〜2×(d2 /λ)なる範囲に設定されたことを特徴とする噴射型超音波洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 , B08B 3/12

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-221189
特開平2-099944
超音波洗浄方式及び超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283586 出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行

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審査官引用 (4件)

特開平3-221189
特開平2-099944
超音波洗浄方式及び超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283586 出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行

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