真空圧力制御システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-128385
公開番号（公開出願番号）：特開平11-347395
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1999年12月21日
要約：

【要約】【課題】真空容器内を高い真空圧力から低い真空圧力へ調整するときの所要時間を短くし、全体をコンパクト化した真空圧力制御システムを提供すること。【解決手段】真空制御弁10は弁体40、弁座45及びパイロット弁31を有する。弁体40を移動させるために、パイロット弁31の加圧室33bには、電空比例弁56及び二つの電磁弁54,55により調整される気体圧力が供給される。コントローラ51は、真空制御弁10の開度を変えて圧力センサ25による検出圧力を所定値に速やかに近づけるために、各弁54〜56を制御する。連続した第1及び第2の制御において、コントローラ51は加圧室33bから気体圧力を速やかに逃がすために、両電磁弁54,55を作動させ、続いてポテンショメータ37による検出開度が所定値に達したとき、真空圧力を所定値に調整するために電空比例弁56を制御する。

請求項（抜粋）：

真空容器と、前記真空容器内に供給されたガスを吸引するための真空ポンプと、前記真空容器と前記真空ポンプとを接続するための配管と、前記配管上に設けられて自身の開度を変化させることにより前記真空容器内の真空圧力を変化させるようにした真空制御弁と、前記真空容器内の真空圧力を検出するための圧力センサと、前記真空容器内の真空圧力が所定値となるように、前記検出される真空圧力に基づいて前記真空制御弁の開度を制御するための制御装置とを有する真空圧力制御システムにおいて、前記真空制御弁は弁体、弁座及びパイロット弁を有し、前記弁体はその外周に先細りのテーパ面を含み、その弁体が前記弁座の孔の中心軸線に沿って移動することにより、前記弁座と前記テーパ面との間の隙間の大きさが変わり前記真空制御弁の開度が変わるものであり、前記パイロット弁には、前記弁体を移動させるためにサーボ弁により調整される気体圧力が供給されることと、前記制御装置は、前記真空制御弁の開度を変えることにより前記真空圧力を前記所定値に調整するために、前記サーボ弁を制御することにより前記パイロット弁に供給される気体圧力を調整することと、前記パイロット弁に供給された気体圧力を同弁から速やかに逃がすために作動する急速排気弁と、前記制御装置は、前記パイロット弁から気体圧力を速やかに逃がすことにより前記真空制御弁の開度を速やかに減少させるために、前記急速排気弁を制御することとを備えたことを特徴とする真空圧力制御システム。

IPC (3件)：

B01J 3/02 , F16K 31/122 , F16K 51/02

FI (3件)：

B01J 3/02 L , F16K 31/122 , F16K 51/02 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-185984
圧力制御弁
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-323438 出願人：シーケーディ株式会社
特開平1-141290

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