流体塗布装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250111
公開番号（公開出願番号）：特開平7-080384
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】スロット型流体塗布装置によって塗布対象物の表面に塗布された塗膜の表面をレベリングし、塗膜表面の膜質を改善する。【構成】塗布ヘッド5の近傍に配置されたレベリング装置23により溶剤27を霧状ないしガス状に散布して溶剤雰囲気を形成する。塗布ヘッド5から塗布対象物4の表面に引き伸ばすようにしながら塗布された薄い塗布液13は、未乾燥のままで溶剤雰囲気と触れることによって表面を平坦化される。

請求項（抜粋）：

塗布ヘッド内のスロットで流体を一定の厚みにして流出させ、当該厚みよりも大きな間隙を隔てて塗布ヘッドと相対的に塗布対象物を移動させながら塗布対象物の表面に一定厚みの流体を塗布する流体塗布装置において、塗布対象物の表面に塗布された塗膜の表面に向けて溶剤を散布して溶剤雰囲気を生成するためのレベリング装置を塗布ヘッドの近傍に設けたことを特徴とする流体塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 , B05C 9/12 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭55-075758
塗布方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355626 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開平4-035768

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