特許
J-GLOBAL ID：200903060128995178
位置決めステージ装置およびこれを用いた露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295867
公開番号（公開出願番号）：特開平8-137550
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 温度変化による位置決め精度の低下を防ぐ。【構成】 移動台2はリニアモータ3によって移動し、レーザ干渉計4はミラー2aの反射光から移動台2の現在位置を検出してリニアモータ3のドライバ3aにフィードバックする。同時に移動台2の温度を温度センサ5によって検出し、その出力を演算器5bに導入して位置決め対象物体W1 とミラー2aの反射面の間の離間距離の変化を求めてドライバ3aに導入し、リニアモータ3の駆動量を補正する。
請求項（抜粋）：
台盤上を駆動手段によって移動する移動台と、該移動台と一体であるミラーの反射光に基づいて前記移動台の現在位置を検出する現在位置検出手段と、前記移動台の温度を検出する少なくとも1個の温度センサと、その出力に基づいて前記移動台の変形量を算出する演算手段と、前記現在位置検出手段の出力および前記演算手段の出力に基づいて前記駆動手段の駆動量を制御する制御手段を有する位置決めステージ装置。
IPC (5件)：
G05D 3/12 305
, B23Q 17/24
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, B23Q 15/18
