単結晶引上装置のマグネット昇降機構

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-370501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-191393
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】最小限のメンテナンスで良好な同期駆動が可能な単結晶引上装置のマグネット昇降機構を提供する。【解決手段】マグネット1によって磁場を印加しながら単結晶インゴットを引き上げる単結晶引上装置のマグネット昇降機構において、ベース17に複数本の支柱3を設け、マグネット1を支持する支持部材2を各支柱3に設けてこれを昇降可能に案内し、各支持部材2をボールネジ4とボールナット21で昇降させる構成にし、ボールネジ4をカウンタシャフト8、15とギア22〜25を介して1つの駆動モータ18に接続し、ボールネジ4をその駆動モータ18で同期駆動する構成にしたことを特徴とする単結晶引上装置用のマグネット昇降機構。

請求項（抜粋）：

マグネット(1)によって磁場を印加しながら単結晶インゴットを引き上げる単結晶引上装置のマグネット昇降機構において、ベース(17)に複数本の支柱(3)を設け、マグネット(1)を支持する支持部材(2)を各支柱(3)に設けて昇降可能に案内し、各支持部材(2)の昇降をカウンタシャフト(8、15)とギア(22〜25)を介して1つの駆動モータ(18)で行う構成にしたことを特徴とする単結晶引上装置用のマグネット昇降機構。

IPC (4件)：

C30B 15/00 , B66C 1/06 , B66C 1/66 , C30B 29/06 502

FI (4件)：

C30B 15/00 Z , B66C 1/06 Z , B66C 1/66 P , C30B 29/06 502 G

Fターム (7件)：

3F004EA40 , 3F004GA07 , 3F004JA10 , 4G077AA02 , 4G077EG25 , 4G077EG29 , 4G077EJ02

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭61-044797
カスプ磁界引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-081165 出願人：三菱マテリアル株式会社

審査官引用 (2件)

特開昭61-044797
カスプ磁界引上装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-081165 出願人：三菱マテリアル株式会社

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