特許
J-GLOBAL ID:200903080496517147
カスプ磁界引上装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-081165
公開番号(公開出願番号):特開平10-182280
出願日: 1997年03月31日
公開日(公表日): 1998年07月07日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、炉の胴体を直接支持して装置から退避させることのできるカスプ磁界引上装置を提供することを課題とする。【解決手段】 マグネットをマグネット退避手段により下方に退避させた後に、胴体と係合して該胴体をルツボから退避させる胴体退避手段を設けることにより、炉の胴体を胴体退避手段を介して直接支持し、支持した前記胴体を上蓋から分離させてルツボから退避させるようにしている。
請求項(抜粋):
原料融液を収容したルツボを加熱する炉の胴体と、該胴体の上蓋と、前記胴体の周囲に上下に相互間隔をおいて対向配置されるリング状のカスプ磁界印加マグネットと、該マグネットを下降させて前記胴体の周囲から退避させるマグネット退避手段とを備えるとともに、前記上蓋を旋回させて前記胴体の上方から退避させるための上蓋退避手段が設けられているカスプ磁界引上装置において、前記マグネットが前記マグネット退避手段により下方に退避した後に、胴体と係合して該胴体をルツボから退避させる胴体退避手段が設けられていることを特徴とするカスプ磁界引上装置。
IPC (4件):
C30B 15/22
, C30B 29/06 502
, C30B 30/04
, H01L 21/208
FI (4件):
C30B 15/22
, C30B 29/06 502 G
, C30B 30/04
, H01L 21/208 P
引用特許:
審査官引用 (8件)
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特開昭62-256791
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特開昭60-027682
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特開平4-077386
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単結晶引上げ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-054303
出願人:株式会社小松製作所
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単結晶を引上げる装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-084755
出願人:バルツァースウントライボルトドイチュラントホールディングアクチエンゲゼルシャフト
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特開昭62-256791
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特開昭60-027682
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特開平4-077386
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