特許

J-GLOBAL ID：200903060152726579

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 江崎 孝之
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (2件)： 角田 芳末 ,  磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-168915
公開番号（公開出願番号）：特開2005-347707
出願日： 2004年06月07日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：

【課題】 カラーフィルタ又はオンチップレンズ等を、良好な状態で形成することを可能にする固体撮像素子の製造方法を提供する。【解決手段】 パッド領域33において、半導体層3の内部に第1の電極層16を形成する工程と、パッド領域33において、半導体層3の裏面側より第1の電極層16に達する開口18を形成する工程と、パッド領域33において、開口18内に導電層20を埋め込む工程と、半導体層3の裏面側に導電膜26を形成する工程と、導電膜26をパターニングすることにより、パッド領域33及びオプティカルブラック領域32に、それぞれ第2の配線層21及び遮光膜22の少なくとも一部を同時に形成する工程と、撮像領域31において、半導体層3の裏面側にカラーフィルタ23又はオンチップレンズ24を形成する工程とを有するようにする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

撮像領域とオプティカルブラック領域とパッド領域とを有し、 前記撮像領域及び前記オプティカルブラック領域において、半導体層内に光電変換素子が形成され、 前記撮像領域においては、前記半導体層に対して、一方の主面側にカラーフィルタ又はオンチップレンズが形成され、 前記オプティカルブラック領域においては、前記半導体層に対して、前記一方の主面側に遮光膜が形成され、 前記パッド領域においては、内部に第1の電極層が形成され、前記一方の主面側の外部に第2の電極層が形成され、前記第1の電極層及び前記第2の電極層が、前記第1の電極層の前記一方の主面側に埋め込まれた導電層により接続され、 前記第2の電極層と前記オプティカルブラック領域の前記遮光膜とが、少なくとも、同一の導電膜を含んで形成されている ことを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L27/146 ,  H01L27/14 ,  H04N5/335

FI (3件)：

H01L27/14 A ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 D

Fターム (23件)：

4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118EA06 ,  4M118EA14 ,  4M118EA18 ,  4M118FA06 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118FA42 ,  4M118GA02 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CY47 ,  5C024EX43 ,  5C024EX51 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ36

引用特許：

出願人引用 (1件)

• X-Yアドレス型固体撮像素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-210270   出願人：ソニー株式会社