特許
J-GLOBAL ID:200903060164752419
ウエハ固定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-116695
公開番号(公開出願番号):特開2001-308033
出願日: 2000年04月18日
公開日(公表日): 2001年11月02日
要約:
【要約】【課題】 ウエハを破損することなく、高弾性率の粘着剤層を有するダイシングテープ上に固定する方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るウエハの固定方法は、50°Cにおける弾性率が、1.0×104Pa以上である粘着剤層を有するダイシングテープにウエハを固定する方法において、ウエハの回路面側の回路が形成されていない周囲部分をテーブル上に吸着してウエハを固定するとともに、該ウエハを囲む所定位置にリングフレームを載置し、前記ダイシングテープの粘着剤層の弾性率が1.5×105Pa以下を示す温度までウエハを昇温し、前記ダイシングテープを繰り出し、前記ダイシングテープの基材面側からローラで押圧することにより、リングフレームおよびウエハをダイシングテープ上に固定することを特徴としている。
請求項(抜粋):
50°Cにおける弾性率が、1.0×104Pa以上である粘着剤層を有するダイシングテープにウエハを固定する方法において、ウエハの回路面側の回路が形成されていない周囲部分をテーブル上に吸着してウエハを固定するとともに、該ウエハを囲む所定位置にリングフレームを載置し、前記ダイシングテープの粘着剤層の弾性率が1.5×105Pa以下を示す温度までウエハを昇温し、前記ダイシングテープを繰り出し、前記ダイシングテープの基材面側からローラで押圧することにより、リングフレームおよびウエハをダイシングテープ上に固定するウエハ固定方法。
引用特許:
審査官引用 (3件)
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接着シート貼付装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-187413
出願人:リンテック株式会社
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特開平1-154712
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特開平1-154712
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