ウエハ固定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116695
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308033
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】ウエハを破損することなく、高弾性率の粘着剤層を有するダイシングテープ上に固定する方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るウエハの固定方法は、50°Cにおける弾性率が、1.0×104Pa以上である粘着剤層を有するダイシングテープにウエハを固定する方法において、ウエハの回路面側の回路が形成されていない周囲部分をテーブル上に吸着してウエハを固定するとともに、該ウエハを囲む所定位置にリングフレームを載置し、前記ダイシングテープの粘着剤層の弾性率が1.5×105Pa以下を示す温度までウエハを昇温し、前記ダイシングテープを繰り出し、前記ダイシングテープの基材面側からローラで押圧することにより、リングフレームおよびウエハをダイシングテープ上に固定することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

50°Cにおける弾性率が、1.0×104Pa以上である粘着剤層を有するダイシングテープにウエハを固定する方法において、ウエハの回路面側の回路が形成されていない周囲部分をテーブル上に吸着してウエハを固定するとともに、該ウエハを囲む所定位置にリングフレームを載置し、前記ダイシングテープの粘着剤層の弾性率が1.5×105Pa以下を示す温度までウエハを昇温し、前記ダイシングテープを繰り出し、前記ダイシングテープの基材面側からローラで押圧することにより、リングフレームおよびウエハをダイシングテープ上に固定するウエハ固定方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

接着シート貼付装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-187413 出願人：リンテック株式会社
特開平1-154712
特開平1-154712

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