特許

J-GLOBAL ID：200903060181576853

欠陥パターン種別判定方法およびその装置

発明者： 秦 清治 ,  花房 秀行
出願人/特許権者： 株式会社ヒューテック ,  香川大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-126645
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333170
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、検出された欠陥の種別を判定できるとともに、判定する欠陥の種別の登録および変更を専門化によらずとも容易に行える欠陥パターン種別判定方法およびその装置を得ることにある。【構成】撮像対象を照明した光から検出された撮像画像を予め記憶された標準画像と比較し、両画像間の相違を検出して得る前記撮像画像の欠陥について、その特徴値を算出する特徴値抽出回路31と、欠陥の種別毎の特徴を言語で欠陥記述として指示する入力装置12と、この指示された欠陥記述及び前記回路31で抽出された特徴値をメンバーシップ関数でファジー処理するファジー回路32と、この回路32を入力層とし、かつ、前記欠陥記述に対応する中間層41及び前記欠陥の種別に対応する出力を出す出力層42を有して形成される三層の階層形ニューラルネットワーク33とを具備した欠陥パターン種別判定装置。

請求項（抜粋）：

撮像対象を照明した光から前記撮像対象の画像を検出し、この撮像画像を予め記憶された標準画像と比較し、これら両画像間の相違を検出して得た前記撮像画像の欠陥についての種別を判定するものであって、欠陥の種別ごとの特徴を言語または図形記号のようなメディアを用いて欠陥記述として指示し、この指示された欠陥記述をメンバーシップ関数でファジー処理し、このファジー処理を行うファジー推論部の出力を、前記ファジー推論部を入力層とする階層形ニューラルネットワークに入力して、このネットワークにより前記検出により得た欠陥の種別を判定することを特徴とする欠陥パターン種別判定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/89

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-103544   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 疵検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-233599   出願人：富士通株式会社, 富士フアコム制御株式会社, 川崎製鉄株式会社