特許

J-GLOBAL ID：200903060189226649

薄板状部材移載装置

発明者： 森川 清彦 ,  西村 圭介
出願人/特許権者： 光洋サーモシステム株式会社
代理人 (1件)： 岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-341634
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174099
出願日： 1998年12月01日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 水平薄板状部材を上下に間隔をおいた状態で保持しかつ間隔を調整し得る構成移載装置において構成の簡単かつ安価にする。【解決手段】 少なくとも水平方向に移動する移載ヘッド4を備え、移載ヘッド4に、上下に並べてかつ相対的に上下動自在に薄板状部材保持ハンド6A,6B,6Cが取り付けられ、各薄板状部材保持ハンド6A,6B,6Cにそれぞれ薄板状部材保持部6aが上下に間隔をおいて設けられている。最も上に位置する薄板状部材保持ハンド6Bおよび最も下に位置する薄板状部材保持ハンド6Aのうちの一方のハンド6Aが、移載ヘッド4に固定され、他方のハンド6Bが、上下移動手段により上下に移動されるようになされ、各薄板状部材保持ハンド6A,6B,6Cが、上下移動手段により保持ハンド6Bを上下に移動させたさいに、隣り合う保持部間の間隔を等しく保つリンク機構20A,20Bにより連結されている。

請求項（抜粋）：

複数の水平薄板状部材を上下に間隔をおいた状態で保持する薄板状部材移載装置であって、少なくとも水平方向に移動する移載ヘッドを備え、移載ヘッドに、上下に並べてかつ相対的に上下動自在に薄板状部材保持ハンドが取り付けられ、各薄板状部材保持ハンドにそれぞれ薄板状部材保持部が上下に間隔をおいて設けられ、最も上に位置する薄板状部材保持ハンドおよび最も下に位置する薄板状部材保持ハンドのうちの一方が、移載ヘッドに固定され、他方の保持ハンドが、上下移動手段により上下に移動されるようになされ、各薄板状部材保持ハンドが、上下移動手段により保持ハンドを上下に移動させたさいに、隣り合う保持部間の間隔を等しく保つリンク機構により連結されていることを特徴とする薄板状部材移載装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/324

FI (4件)：

H01L 21/68 D ,  B25J 15/00 C ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/324 S

Fターム (16件)：

3F061AA03 ,  3F061BA02 ,  3F061BE05 ,  3F061BF00 ,  3F061DB04 ,  5F031CA02 ,  5F031FA13 ,  5F031FA25 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA50 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ピッチ変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-354015   出願人：エム・シー・エレクトロニクス株式会社
• 特開平4-030552