特許

J-GLOBAL ID：200903060202539155

位置微調整装置

発明者： 小松 直隆 ,  田原 諭 ,  佐々木 拓 ,  高沖 宗夫
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-119144
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312017
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】煩雑な調整作業等を必要とせず、また製作時の加工精度や組立て精度をさほど要求せずとも、超音波モータに対する押圧荷重を所定の状態に保持し、所望の駆動力を得る。【解決手段】微動ステージ7と、この微動ステージ7を振動により移動させる圧電効果を用いた超音波モータ1とを有する位置微調整装置において、微動ステージ7の移動方向に対して直交する方向に上記超音波モータ1が上記微動ステージ7を押圧する力を発生させる圧縮ばね2、セットビス3、及びホルダ6を備える。

請求項（抜粋）：

微動体と、この微動体を振動により移動させる圧電効果を用いた駆動手段とを有する位置微調整装置において、上記微動体の移動方向に対して直交する方向に上記駆動手段が上記微動体を押圧する力を発生させる押圧力発生手段を備えたことを特徴とする位置微調整装置。

IPC (2件)：

G05D 3/00 ,  H02N 2/00

FI (2件)：

G05D 3/00 G ,  H02N 2/00 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 超音波モータおよび直動案内装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-073893   出願人：アルプス電気株式会社, テイエチケー株式会社
• 回転型アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-086731   出願人：オリンパス光学工業株式会社