特許

J-GLOBAL ID：200903060233459907

硬質被膜、硬質被覆部材及びその製造方法

発明者： 今井 貴浩 ,  内海 慶春
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-306899
公開番号（公開出願番号）：特開平9-125229
出願日： 1995年10月30日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】 切削工具、耐摩工具、耐摩部品などの硬質部材、電気部品、機械部品、燃焼器部品など、耐摩耗性、耐食性、耐酸化性、耐熱性などが要求される部品材料表面に形成して、硬度、耐摩耗性、耐食性、耐熱性を向上させる硬質被膜、硬質被覆部材と、その製造方法を与える事。【解決手段】 IVa、Va、VIa遷移金属、Si、Alの窒化物、炭化物、酸化物、ホウ化物、それらの固溶体基材の上に、ウルツ鉱型結晶構造を有するBx Al1-x Ny 被膜を形成する。或いは、基材の上にAlN、Al2 O3 、SiC、SiN中間層を設けさらに、その上にウルツ鉱結晶構造を有するBx Al1-x Ny 膜を形成する。

請求項（抜粋）：

Bx Al1-x Ny (0.01≦x≦0.55、0.85≦y≦1.05)によって表される組成を持ち、多結晶ウルツ鉱型結晶構造を有し、膜厚が1nm〜50μmであることを特徴とする硬質被膜。

IPC (7件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/34 ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/38 ,  C30B 29/38 ,  B23B 27/14

FI (7件)：

C23C 14/06 A ,  C23C 14/32 Z ,  C23C 14/34 N ,  C23C 16/34 ,  C23C 16/38 ,  C30B 29/38 C ,  B23B 27/14 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 硼素含有窒化アルミニウム薄膜および製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-116524   出願人：住友電気工業株式会社