特許

J-GLOBAL ID：200903060295205707

液体処理方法、液体処理装置、及び、フラットパネル表示装置の製造方法

発明者： 岩田 信一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-294705
公開番号（公開出願番号）：特開2003-093982
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月02日
要約：

【要約】【課題】 被処理物を液体内に浸漬させた状態で気泡を導入する液体処理を行う場合に、気泡によって生ずる水流の偏りを低減することにより、処理の均一化を図る。【解決手段】 純水3を収容した洗浄槽21内に基板110を配置させた状態で、気泡導入器22から気泡4を所定時間発生させる(気泡導入ステップA)。その後、気泡導入器22からの気泡4の導入を所定時間停止させる(停止ステップB)。さらにその後、再び気泡導入器22から気泡4を導入し、所定時間洗浄を行う(気泡導入ステップA)。

請求項（抜粋）：

被処理物を液体中に浸漬させた状態とし、この状態で、前記液体中に気泡を導入する気泡導入ステップと、前記気泡の導入を停止する停止ステップと、前記気泡を再び導入する気泡導入ステップとを順次実施することを特徴とする液体処理方法。

IPC (5件)：

B08B 3/10 ,  C03C 23/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 642

FI (5件)：

B08B 3/10 Z ,  C03C 23/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 642 A

Fターム (17件)：

2H088FA21 ,  2H088HA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC19 ,  3B201AA01 ,  3B201AB01 ,  3B201AB44 ,  3B201BB02 ,  3B201BB21 ,  3B201BB88 ,  3B201BB92 ,  3B201CD41 ,  3B201CD43 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB11 ,  4G059AC30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 洗浄方法及びこれを用いた液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-165004   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 特開昭64-004285
  
• 洗浄方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-317360   出願人：株式会社荏原製作所