特許
J-GLOBAL ID:200903060307065779

水晶振動子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上柳 雅誉 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-080683
公開番号(公開出願番号):特開2001-267875
出願日: 2000年03月22日
公開日(公表日): 2001年09月28日
要約:
【要約】【課題】小型化及び優れた耐衝撃性を実現した水晶振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 1対の振動電極が形成された振動子基板20と、振動子基板20を支持するベース基板30と、振動子基板20を覆うリッド基板40とを備える。ベース基板30及びリッド基板40には、ギャップ形成、共晶接合用に枠状の金属層47をもち、振動子基板20と共晶接合されて気密封止される。そして、振動子基板20は、第1及び第2の振動電極が形成された振動子片と、水晶振動子片を支持し、且つ、第1の振動電極に接続された第1の配線電極が一方の面にほぼ全面に形成され、第2の振動電極に接続された第2の配線電極が他方の面にほぼ全面に形成され、前記振動子片に枠部を備え、枠部の角部側壁に、第1の配線電極及び第2の配線電極にそれぞれ連続した第1及び第2の外部電極を形成する。
請求項(抜粋):
1対の振動電極が形成された振動子基板と、該振動子基板を支持するベース基板と、前記振動子基板を覆うリッド基板とを備え、前記振動子基板と前記ベース基板及びリッド基板は、共晶接合により気密封止され、前記振動子基板は、第1及び第2の振動電極が形成された振動子片と、該振動子片を支持し、且つ、前記第1の振動電極に接続された第1の配線電極がほぼ全面に形成され、前記第2の振動電極に接続された第2の配線電極が他方の面にほぼ全面に形成された枠部を備え、前記枠部の角部側壁に前記第1の配線電極及び前記第2の配線電極とをそれぞれ接続された第1及び第2の外部電極を形成したことを特徴とする水晶振動子。
IPC (4件):
H03H 9/02 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19
FI (5件):
H03H 9/02 L ,  H03H 3/02 C ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/19 A ,  H03H 9/19 J
Fターム (16件):
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108DD02 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF11 ,  5J108FF13 ,  5J108GG03 ,  5J108GG14 ,  5J108GG17 ,  5J108KK02 ,  5J108KK04 ,  5J108MM01 ,  5J108MM14
引用特許:
審査官引用 (4件)
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