特許

J-GLOBAL ID：200903060308889902

ポジ型感光性組成物

発明者： 落合 為一 ,  亀山 泰弘
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030814
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220740
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 高解像力を有するポジ型フォトレジストを提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び、下記構造式(1)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(X1 〜X15は水素原子、アルキルオキシカルボニルオキシ基、水酸基又はアルキル基を、Y1 〜Y3 は水素原子、アルキルオキシカルボニルオキシ基または水酸基を、Z1 〜Z6 は、水素原子又はアルキル基を表わす。但し、X1 〜X15およびY1 〜Y3 からなる群から選ばれる少なくとも1個がアルキルオキシカルボニルオキシ基であり、かつ少なくとも3個がアルキルオキシカルボニルオキシ基または水酸基である。)

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び、下記構造式(1)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】(但し、構造式(1)において、X1 〜X15は独立に水素原子、アルキルオキシカルボニルオキシ基、水酸基または、アルキル基を表わし、Y1 〜Y3 は独立に水素原子、アルキルオキシカルボニルオキシ基または水酸基を表わし、Z1 〜Z6 は、独立に水素原子またはアルキル基を表わす。但し、X1 〜X15およびY1〜Y3 からなる群から選ばれる少なくとも1個がアルキルオキシカルボニルオキ基であり、かつ少なくとも3個がアルキルオキシカルボニルオキシ基または水酸基である。)

IPC (2件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501

FI (2件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 化学増幅型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-034836   出願人：住友化学工業株式会社