特許

J-GLOBAL ID：200903060322574892

露光装置

発明者： 長谷川 敬恭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-201606
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019392
出願日： 2005年07月11日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】 液体の気化熱による冷却を抑制する露光装置を提供する。【解決手段】 パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、前記基板上に供給された液体を回収する回収部を備え、前記回収部の内側に吸湿発熱体が配置されることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

パターンの像を液体を介して基板上に転写して基板を露光する露光装置であって、前記基板上に供給された液体を回収する回収部を備え、前記回収部の内側に吸湿発熱体が配置されることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (4件)：

5F046AA28 ,  5F046CB24 ,  5F046DA07 ,  5F046DA26

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 投影露光方法及び装置
  公報種別：再公表公報   出願番号：JP1999001262   出願人：株式会社ニコン
• リソグラフィ装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-417259   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ