特許

J-GLOBAL ID：200903060332910114

角速度センサ

発明者： 浅海 一志 ,  石川 隆之 ,  頼永 宗男 ,  吉野 好
出願人/特許権者： 株式会社日本自動車部品総合研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-341460
公開番号（公開出願番号）：特開平11-173850
出願日： 1997年12月11日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】 振動子の同一面上に駆動素子部、検知素子部、フィードバック素子部を配置した小型の角速度センサにおいて、オフセット信号の低減を図る。【解決手段】 半導体基板をエッチングすることによって振動子2を形成し、振動子2の表面に、駆動素子部8、8’と、検知素子部9、9’と、フィードバック素子部10、10’を形成した半導体式の角速度センサであって、フィードバック素子部10、10’と検知素子部9、9’の静電容量が等しくなるように、両者の面積を等しくした。

請求項（抜粋）：

x軸、y軸、z軸からなる直交座標系にてz軸方向を軸として支持され前記y軸と直交する素子部形成面を有する振動子(2)と、前記素子部形成面に形成され前記振動子(2)を前記x軸方向に振動させる駆動素子部(8、8’)と、前記素子部形成面に形成され前記振動子(2)の前記y軸方向の振動に応じた信号を出力する検知素子部(9、9’)と、前記素子部形成面に形成され前記振動子(2)の前記x軸方向の振動に応じた信号を出力するフィードバック素子部(10、10’)と、このフィードバック素子部(10、10’)から出力される信号に基づいて前記駆動素子部(8、8’)を駆動し、この駆動素子の駆動によって前記振動子(2)が前記x軸方向に振動しているときに前記検知素子部(9、9’)から出力される信号を、前記フィードバック素子部(10、10’)から出力される信号に基づき同期検波して角速度信号を出力する回路手段(30〜37)を備え、前記フィードバック素子部(10、10’)と前記検知素子部(9、9’)の静電容量が等しくなっていることを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-246991   出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 日本電装株式会社
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-264518   出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー