特許
J-GLOBAL ID:200903044341973492

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-264518
公開番号(公開出願番号):特開平9-105634
出願日: 1995年10月12日
公開日(公表日): 1997年04月22日
要約:
【要約】【課題】新規な構成の角速度センサを提供することにある。【解決手段】音叉型の振動子2は金属板1の一部をくり抜くことにより形成され、振動子2は、平行に延びるアーム部4.5が連結部6にて固定部3に連結されている。連結部6の正面には積層構造をなす駆動用圧電素子13,14がアーム部4,5の延設方向において離間して接着されている。幅広アーム部7,10の正面には積層構造をなす検知用圧電素子18,19が接着されている。第1の駆動用圧電素子13と第2の駆動用圧電素子14に逆相の交流信号(駆動信号)が出力される。駆動用圧電素子13,14により振動子2が左右方向(X方向)に振動する。角速度の作用により前後方向(Y方向)に振動が発生し、この振動が検知用圧電素子18,19にて検出される。
請求項(抜粋):
平行に延びるアーム部を連結部にて固定部に連結した音叉型の振動子を備え、当該振動子に駆動用の圧電素子および角速度検出用の圧電素子を配置した角速度センサであって、前記駆動用の圧電素子を前記連結部に設けたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-255612   出願人:松下電器産業株式会社
  • 振動型角速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-310723   出願人:日本航空電子工業株式会社

前のページに戻る