酸化アルミニウム単結晶の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：河備健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056228
公開番号（公開出願番号）：特開2007-230836
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2007年09月13日
要約：

【課題】マイクロバブルの発生を抑制して効率的に電子部品材料や光学用部品材料に適した高品質な酸化アルミニウム単結晶を製造する方法を提供。【解決手段】炉体内のルツボに単結晶用原料を入れて加熱溶融し、原料融液から成長結晶を引き上げる溶融固化法により酸化アルミニウム単結晶を製造する方法において、単結晶用原料を加熱溶融する際に、炉体内を0.01MPa以下に維持しつつ、加熱によって単結晶用原料から発生するガスを除去しながら溶融し、引き続き、原料融液を0.01〜0.1MPaの減圧に維持して成長結晶を引き上げることを特徴とする酸化アルミニウム単結晶の製造方法により提供する。これにより原料に吸着または内包しているガスが容易に排除でき、融液中に含まれる過剰なガスが減少し、単結晶育成時に結晶内に取り込まれる微小な気泡が少なくなり、微小な気泡を起因とするピットやマイクロバブルが大幅に減少する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

炉体内のルツボに単結晶用原料を入れて加熱溶融し、原料融液から成長結晶を引き上げる溶融固化法により酸化アルミニウム単結晶を製造する方法において、単結晶用原料を加熱溶融する際に、炉体内を0.01MPa以下に維持しつつ、加熱によって単結晶用原料から発生するガスを除去しながら溶融し、引き続き、原料融液を0.01〜0.1MPaの減圧に維持して成長結晶を引き上げることを特徴とする酸化アルミニウム単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/20 , C30B 15/00

FI (2件)：

C30B29/20 , C30B15/00

Fターム (8件)：

4G077AA02 , 4G077BB01 , 4G077CF01 , 4G077EA05 , 4G077HA01 , 4G077HA02 , 4G077PA00 , 4G077PA16

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平04-132695
チタンを含む酸化アルミニウム単結晶の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-096938 出願人：三菱重工業株式会社
特開昭54-041281

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審査官引用 (2件)

特開昭54-041281
特開昭51-018999

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