基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-303163
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】純水と薬液とを混合して調合された処理液を用いて基板を処理する基板処理装置において、純水供給系統におけるバクテリアの発生を防ぐこと。【解決手段】処理液を生成する際に必要な純水を貯留するための純水秤量槽2には、純水供給源21から純水取出路22および純水吐出路23を介して純水が供給されるようになっている。純水秤量槽2には、純水が第2の貯留量以上貯留されないように、余分な純水をオーバーフローさせるためのオーバーフロー排出路26が設けられている。第2の貯留量の純水が純水秤量槽2に貯留された後、当該純水を調合槽3に供給するまでの期間においては、少量の純水を純水秤量槽2内に供給させ、純水をオーバーフロー排出路26にオーバーフローさせる。すなわち、純水をスローリークさせる。その結果、純水を常に新鮮に保つことができるから、バクテリアの発生を防止できる。

請求項（抜粋）：

第1の貯留量の薬液を貯留するための薬液秤量槽と、第2の貯留量の純水を貯留するための純水秤量槽と、上記薬液および純水を混合させ、基板処理に必要な処理液を調合するための調合槽と、開成/閉成可能な薬液流通弁を介して上記薬液秤量槽と上記調合槽とを接続する薬液流出路と、開成/閉成可能な純水流通弁を介して上記純水秤量槽と上記調合槽とを接続する純水流出路と、上記純水流出弁が閉成されている場合に、上記純水秤量槽に純水を供給し、上記純水秤量槽における貯留量が上記第2の貯留量に達してもさらに供給を継続する純水供給手段と、純水秤量槽に貯留されている純水が第2の貯留量を超えたときに、純水秤量槽内の純水を純水秤量槽外に排出させるためのオーバーフロー排出路と含むことを特徴とする基板処理装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

薬液処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-263985 出願人：富士通株式会社
洗浄装置およびその節水方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058881 出願人：株式会社日立製作所
純水供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-142523 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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