特許
J-GLOBAL ID：200903060347100585
リニア型赤外線検出素子とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152733
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344375
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 オフセットを除去すると共に温度ドリフトの影響を低減し、以って、検出精度を向上させたリニア型赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 基板20上に複数のボロメータ素子1が形成されて配列され、これらのボロメータ素子1を順に選択することで赤外線を検出するようにしたリニア型赤外線検出素子において、基板20とこの基板上に形成されたボロメータ素子1とが熱的に遮断された熱分離構造を有し、赤外線を直接受光する複数の第1のボロメータ素子1dと、基板20とこの基板上に形成されたボロメータ素子1とが熱的に遮断された熱分離構造を有し、赤外線を受光しないようにした第2のボロメータ素子1cとで構成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板上に複数のボロメータ素子が形成されて配列され、これらのボロメータ素子を順に選択することで赤外線を検出するようにしたリニア型赤外線検出素子において、基板とこの基板上に形成されたボロメータ素子とが熱的に遮断された熱分離構造を有し、赤外線を直接受光する複数の第1のボロメータ素子と、基板とこの基板上に形成されたボロメータ素子とが熱的に遮断された熱分離構造を有し、赤外線を受光しないようにした第2のボロメータ素子と、で構成したことを特徴とするリニア型赤外線検出素子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01J 1/02 C
, G01J 1/02 Q
, G01J 5/10 B
