赤外線センサ及び赤外線検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151144
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329499
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】非接触形であって、温度検出感度を高めることができるとともに、検出精度の高い赤外線センサ及び赤外線検出器を提供することを目的とする。【解決手段】基板1に空洞部を設け、空洞部に設けられた二つの感熱抵抗膜5,5′が形成された受光部4,4′と、基板1上部に形成された温度補償用の感熱抵抗膜10′,10′′と、基板温度を計測するための感熱抵抗膜10が設けられたチップ状の赤外線センサである。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に設けた空洞部と、該空洞部に梁部によって架橋状に支持された受光部とからなる赤外線センサに於いて、赤外線検知用の二つの感熱抵抗膜を形成した前記受光部と、前記基板上に前記基板の温度を検知する一つの感熱抵抗膜とを配置したことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 5/02 , G01J 1/02 , G01J 1/44

FI (3件)：

G01J 5/02 P , G01J 1/02 B , G01J 1/44 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-201229
赤外線センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-338850 出願人：日本電装株式会社
特開平4-204123

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