洗浄装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水千春 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318451
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117511
出願日： 2001年10月16日
公開日（公表日）： 2003年04月22日
要約：

【要約】【課題】安価な構造で振動を与えて洗浄効果の向上を図る。【解決手段】洗浄槽1内で被洗浄物Wに超臨界または亜臨界状態の洗浄用流体を接触させることにより、被洗浄物Wに付着した汚染物を抽出除去する洗浄装置において、洗浄槽1内に、被洗浄物Wを収容する洗浄容器15を設けると共に、洗浄槽1に、前記流体の一部を高圧にして洗浄槽内にパルス的に噴射させる流体噴射機構50を付設した。

請求項（抜粋）：

密閉された洗浄槽内で被洗浄物に超臨界または亜臨界状態の洗浄用流体を接触させることにより被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、前記洗浄槽に、前記洗浄用流体の一部を高圧にして洗浄槽内に連続または間欠的に噴射させる流体噴射機構を付設したことを特徴とする洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 5/02 , B08B 7/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 645

FI (5件)：

B08B 5/02 Z , B08B 7/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/304 643 Z , H01L 21/304 645 Z

Fターム (11件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088MA20 , 3B116AA48 , 3B116BB02 , 3B116BB21 , 3B116BB82 , 3B116BB90 , 3B116BC05 , 3B116CD41

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面の処理
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-332861 出願人：クライテックコーポレーション
洗浄方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-339090 出願人：いすゞ自動車株式会社
超臨界又は亜臨界流体を用いた洗浄方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-119605 出願人：株式会社アイテック

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