特許

J-GLOBAL ID：200903060416850583

マイクロ電気機械システム(MEMS)装置

発明者： アニス, ジェフリー, アール. ,  ダマーマス, アーンスト, エイチ. ,  ハリス, リチャード, ディー. ,  ハーバート, パトリック, シー. ,  ニーザー, マイケル, ジェイ. ,  クレチュマン, ロバート, ジェイ. ,  ラルソン, ヘンリック ,  モーリス, ウィンフレッド, エル. ,  ヤオ, ジュン, ジェイ.
出願人/特許権者： ロックウェル オートメーション テクノロジーズ, インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 川崎 隆夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-566525
公開番号（公開出願番号）：特表2005-503267
出願日： 2002年02月20日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

マイクロ電気機械システム(MEMS)装置に関する。静電モータ(66,68)のようなアクチュエータ(12,212)が例えば他の静電モータにより設定された反対の力または所定の力に対してビーム(20,220)を駆動するマイクロ電気機械システム(MEMS)アナログアイソレータ(10)またはデジタルアイソレータ(210)が形成される。ビームの動きはビームに取り付けられたセンサー(18,218)により検出される。ビーム自身はアクチュエータとセンサーの位置間で電気的に絶縁されている。この構造体はオンチップ分離を与えるため集積回路に組み込まれる。MEMS装置において、特定のビーム(312)はビームに対して選択的な偏倚になる撓み端末をまたはビーム構造の検出に機械的な利点を有する横アーム(314,316,318)により支持される。さらに、MEMS装置は減少したノイズ感度を持つように製造可能である。

請求項（抜粋）：

基板と; 前記基板に対して第1位置と第2位置間の移動のため前記基板から支持された素子であり、第1位置および第2位置間の前記素子の少なくとも一部が前記第1および前記第2位置を互いに電気的に分離する素子と; 入力電気信号を受信し且つ前記素子を前記第2位置に向かって駆り立てる入力電気信号に依存する力を与えるため前記素子の前記第1位置に取り付けられたアクチュエータと; 前記第1位置と前記第2位置の1つに向かって前記素子の変位に依存する力を与えるために前記素子に取り付けられた制御素子と; 前記第1位置と前記第2位置間の前記素子の移動に依存する出力電気信号を与えるため前記素子の前記第2位置と交信するセンサーアセンブリと; を備えることを特徴とするマイクロ電気機械システム(MEMS)アナログアイソレータ。

IPC (1件)：

B81B7/02

FI (1件)：

B81B7/02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 半導体加速度スイッチ、半導体加速度スイッチの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-230777   出願人：三菱電機株式会社