合焦装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-067410
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264928
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：

【要約】【課題】従来の焦点検出装置は、レーザー光源による被検体表面からの反射光に基づき合焦点位置を判別しており、その反射光に入り込んだ照明光源又は外部迷光等の比率が大きい場合、合焦精度を著しく損ねる問題点があった。【解決手段】本発明は、レーザー光源駆動器16及び差分信号検出器17,21を備え、測定光源の点灯時、及び消灯時における被検体のそれぞれの反射光の検出を行なうことで、被検体の反射光に測定光以外による反射光成分、受光素子による暗電流成分が含まれていても、測定光の反射光成分のみによる合焦点位置を判別し焦点合わせを行う合焦装置である。

請求項（抜粋）：

測定光を生成し照射する測定光源と、前記測定光源から照射された測定光を被検体表面に集光させるための対物レンズと、被検体表面からの反射光を結像させるための結像レンズと、前記反射光を検出する信号検出手段と、前記検出された信号をもとに前記被検体表面の合焦近傍誤差信号を検出する焦点検出手段と、前記焦点検出手段の誤差信号をもとに、前記対物レンズと前記被検体の距離を光軸方向に相対的に駆動する駆動手段と、を有する合焦装置において、前記測定光源をパルス点灯させるための光源駆動手段と、前記測定光源の点灯時と消灯時の検出信号の差分を検出する差分信号検出手段とを有することを特徴とする合焦装置。

IPC (4件)：

G02B 7/28 , G01B 9/04 , G01B 11/00 , G02B 21/00

FI (4件)：

G02B 7/11 J , G01B 9/04 , G01B 11/00 F , G02B 21/00

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平4-025711
特開昭62-237411
特開昭56-125713

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