特許

J-GLOBAL ID：200903060468575351

光電変換装置用基板およびこれを用いた光電変換装置

発明者： 藤沢 章 ,  平田 昌宏 ,  清原 康一郎
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080957
公開番号（公開出願番号）：特開2001-036107
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 光電変換装置の光電変換層の薄膜化に伴い、導電膜の光透過性能などの改善が求められている。【解決手段】 ガラス板35上に、適宜下地層31,32を形成し、酸化錫を主成分とする導電膜33を成膜する。導電膜は、例えば590°C以上のガラスリボン上におけるCVD法により成膜され、膜中の塩素濃度は0.11重量%以下であってフッ素濃度は塩素濃度以上である。ガラス板が厚さ5mmのソーダライムシリカガラス板であるときに、波長550nmにおける光線透過率は79%以上であり同波長におけるヘイズ率は4%以上である。導電膜33上に光電変換ユニット37を積層し、さらに裏面電極39を形成した光電変換装置とする。

請求項（抜粋）：

ガラス板と、前記ガラス板上に形成した酸化錫を主成分とする導電膜とを含み、前記導電膜中の塩素濃度が0.11重量%以下であり、前記導電膜中のフッ素濃度が前記塩素濃度以上であることを特徴とする光電変換装置用基板。

Fターム (9件)：

5F051AA05 ,  5F051CB27 ,  5F051DA04 ,  5F051FA03 ,  5F051FA08 ,  5F051FA22 ,  5F051FA24 ,  5F051GA03 ,  5F051GA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-181473
  
• 複層ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-305306   出願人：日本板硝子株式会社
• 特開平4-154647