特許
J-GLOBAL ID：200903060485269965

圧電素子とその製造方法、及び液体吐出装置

発明者：
小林 宏之

小林 宏之 について

, 
坂下 幸雄

坂下 幸雄 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-122099
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277672
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】可逆的非180°ドメイン回転による圧電歪が得られ、高い圧電性能を有する圧電体膜を備えた圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子1において、圧電体膜14は、電界印加方向と、自発分極軸と[010]軸とのなす面の法線とのなす角θmが、-45°<θm<+45°かつθm≠0°を充足する強誘電体相(I)、自発分極軸が電界印加方向に対して垂直であり、かつ、電界印加方向と、自発分極軸と[010]軸とのなす面の法線とのなす角θmが、-45°<θm<+45°かつθm≠0°を充足する強誘電体相(II)、[010]軸が電界印加方向に対して垂直であり、かつ、電界印加方向と、自発分極軸と[010]軸とのなす面の法線とのなす角θmが、-45°<θm<+45°かつθm≠0°を充足する強誘電体相(III)のうち、いずれかの強誘電体相を含むものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
圧電体膜と、該圧電体膜に対して膜厚方向に電界を印加する電極とを備えた圧電素子において、 前記圧電体膜は、電界印加方向と、自発分極軸と[010]軸とのなす面の法線とのなす角θmが、-45°<θm<+45°かつθm≠0°を充足する強誘電体相を含むものであることを特徴とする圧電素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  C23C 14/08 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (8件)：
H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 J ,  C23C14/08 K ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (14件)：
2C057AF51 ,  2C057AG44 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BB08 ,  4K029BB09 ,  4K029BC00 ,  4K029BD08 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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