特許

J-GLOBAL ID：200903060491414276

アクティブ除振装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-027513
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228343
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動に原因した除振台の傾斜を矯正する。【解決手段】 除振台を支持する空気ばねアクチュエータ、除振台の振動および位置を計測する振動計測手段ACおよび位置計測手段PO、ならびに空気ばねアクチュエータの内圧または発生荷重を計測する加圧力計測手段PRを有する複数台の能動的支持脚と、各計測手段の出力に基づく加速度フィードバックループAC、4、5、位置フィードバックループPO、1、2、3、および加圧力フィードバックループPR、8を有する制御装置とを備えたアクティブ除振装置において、除振台上のステージが移動して発生する除振台の傾きをステージ位置を検出する位置検出手段LA-X、LA-Yにより検出してこれを除振台の傾きを矯正するための捕正信号とし、これを除振台の望ましい応答が得られるように補償を施す参照モデル14に入力し、この参照モデルの出力を、第1の補償手段16を介して位置フィート ゙ハ ゙ックルーフ ゚にフィードフォワードし、また第2の補償手段15を介して加圧力フィート ゙ハ ゙ックルーフ ゚にフィードフォワードする。

請求項（抜粋）：

除振台を支持する空気ばねアクチュエータ、前記除振台の振動を計測する振動計測手段、前記除振台の位置を計測する位置計測手段、および前記空気ばねアクチュエータの内圧または発生荷重を計測する加圧力計測手段を有する複数台の能動的支持脚と、前記振動計測手段の出力に基づく加速度フィードバックループ、前記位置計測手段の出力に基づく位置フィードバックループ、および前記加圧力計測手段の出力に基づく加圧力フィードバックループを有する制御装置とを備えたアクティブ除振装置において、前記除振台の上のステージが移動して重心が変化することによって発生する前記除振台の傾きを前記ステージの位置を検出する位置検出手段により検出してこれを前記除振台の傾きを矯正するための捕正信号となし、この補正信号を前記除振台の望ましい応答が得られるように前記補正信号に補償を施す応答指定手段に入力し、この応答指定手段の出力信号を、第1の補償手段により所定の補償を施して前記位置フィードバックループにフィードフォワードするとともに、第2の補償手段により所定の補償を施して前記加圧力フィードバックループにフィードフォワードすることを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G05D 3/12

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F ,  F16F 15/02 A ,  G05D 3/12 H

Fターム (29件)：

3J048AA02 ,  3J048AB08 ,  3J048AC04 ,  3J048AD01 ,  3J048AD12 ,  3J048BC01 ,  3J048BE02 ,  3J048CB13 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5H303AA05 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303CC03 ,  5H303DD04 ,  5H303DD08 ,  5H303DD21 ,  5H303EE04 ,  5H303GG13 ,  5H303JJ05 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK17 ,  5H303KK19 ,  5H303KK22 ,  5H303KK27 ,  5H303QQ06