特許
J-GLOBAL ID：200903060508168169

圧電振動子の製造方法

発明者：
伊藤 章

伊藤 章 について

, 
小林 宏和

小林 宏和 について


出願人/特許権者：
京セラキンセキ株式会社

京セラキンセキ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-022019
公開番号（公開出願番号）：特開2006-211411
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【課題】ガラスなどから構成の蓋体に両面が覆われて封止された圧電振動子の製造を可能とするパッケージ形状の実現。【解決手段】ウエハ上に形成の枠部1と、その内側に配置の圧電振動子片2とが一体形成された矩形圧電振動子片を用い、第1電極に接続して圧電振動子片2の接続部6を介しての引き回し電極形成工程と、第2電極に接続して圧電振動子片2の接続部6を介しての引き回し電極形成工程と、前記引き回し電極の蓋体に当接する箇所に切り欠き部のある蓋体4を用意し、前記枠部1とこの内側に配置の圧電振動子片2とが一体形成された矩形の圧電振動子片と前記圧電振動子片の引き回し電極の蓋体に対向する箇所に切り欠き部のある第1の蓋体4と第2の蓋体5と接合する工程と、前記接合工程を終えてから前記蓋体の切り欠き部を蓋体にあるスルーホールを通して封止する工程とによりパッケージを得る構成。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
枠部とこの内側に配置された圧電振動子片とが一体に形成された矩形の前記圧電振動子片の第1主面に形成された第1電極および前記圧電振動子片の第2の主面側に形成された第2電極と、前記第1電極から圧電振動子片と前記枠との接続部を介して、また前記第2電極から圧電振動子片と前記枠との接続部を介して各々が圧電振動子の端子電極と接続され、前記圧電振動子片の第1主面の前記枠部及び前記第1主面とは反対の第2の主面側の前記枠部に接合された前記圧電振動子片に第1の蓋体と第2の蓋体と接合された圧電振動子の製造方法において、 ウエハ上に形成する枠部とこの内側に配置された圧電振動子片とが一体に形成された矩形の圧電振動子片を用い、前記第1電極に接続して圧電振動子片の接続部を介して引き回し電極を形成する工程と、前記第2電極に接続して圧電振動子片の接続部を介して引き回し電極を形成する工程と、前記引き回し電極の蓋体に当接する箇所に切り欠き部のある蓋体を用意して、前記枠部とこの内側に配置された圧電振動子片とが一体に形成された矩形の圧電振動子片に前記圧電振動子片の引き回し電極の蓋体に対向する箇所に切り欠き部のある第1の蓋体と第2の蓋体と接合する工程と、前記接合工程を終えてから前記蓋体の切り欠き部を封止する工程とから成ることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (2件)：
H03H 3/02 ,  H01L 23/02
FI (2件)：
H03H3/02 C ,  H01L23/02 J
Fターム (1件)：
5J108MM02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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