圧電振動子の構造と製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-121464
公開番号（公開出願番号）：特開2004-328442
出願日： 2003年04月25日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】現在水晶振動子は振動板を金属容器或いはセラミック容器に封止している。小型化、低価格化が要望されているが、現状の2mmより小さく、0.3mmより薄くするのは困難である。また、パッケージと振動子の材料が異なるため熱膨張率の差で応力がかかり温度特性に影響を与えている。また、従来の製造方法では振動板を一枚づつ容器に組み立てるので小型化が進むにしたがって生産性が悪くなる。【解決手段】上下2枚の水晶薄板の間に水晶振動板を挟み、ガス放出の少ない接着シール材でシールする。複数個の振動子に相当する大きな3枚の水晶ウエハー薄板を用いて同時に多数個の振動子を形成した後で個々の振動子に分割する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

圧電振動子においてパッケージと振動板が3枚の板から構成することを特徴とする圧電振動子

IPC (5件)：

H03H9/19 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H3/02

FI (5件)：

H03H9/19 A , H03H3/02 C , H01L41/08 C , H01L41/18 101A , H01L41/22 Z

Fターム (10件)：

5J108BB02 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108GG03 , 5J108GG08 , 5J108GG14 , 5J108KK04 , 5J108MM01 , 5J108MM02 , 5J108MM11

引用特許：

審査官引用 (5件)

振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-136491 出願人：松下電器産業株式会社
特開平2-053313
水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-114627 出願人：シチズン時計株式会社

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