特許
J-GLOBAL ID：200903060519406010
半導体素子のスクリーニング方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 彰芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173237
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044730
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ロスタイムをなくすことで作業能率を向上させることができる半導体素子のスクリーニング方法及びその装置を提供する。【解決手段】 検査する半導体素子を複数個載せる供給部3と検査済の半導体素子を載せる収納部4を左右対称位置に備えた載置体2を回転かつ摺動させて一対の回転可能なインデックス5,6間へセットし、第一のインデックス5に供給部3から半導体素子をローディングし、次いで第二のインデックス6に半導体素子のローディングに移行する時、前記した第一のインデックスではスクリーニングを開始させ、第二のインデックスでスクリーニングが開始される時、第一のインデックス5からは検査済の半導体素子を収納部4へアンローディングさせ、この動作を交互に繰り返し行なうことと供給部3と収納部4を左右対称位置に備える。
請求項（抜粋）：
検査する半導体素子を複数個載せる供給部と検査済の半導体素子を載せる収納部を左右対称位置に備えた載置体を回転かつ摺動させて一対の回転可能なインデックス間へセットし、第一のインデックスに供給部から半導体素子をローディングし、次いで第二のインデックスに半導体素子のローディングに移行する時、前記した第一のインデックスではスクリーニングを開始させ、第二のインデックスでスクリーニングが開始される時、第一のインデックスからは検査済の半導体素子を収納部へアンローディングさせ、この動作を交互に繰り返し行なうことを特徴とする半導体素子のスクリーニング方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R 31/26 Z
, G01R 31/26 F
, H01L 21/66 B
