スピンコーティング用組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162248
公開番号（公開出願番号）：特開平8-027421
出願日： 1994年07月14日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】特性の優れたスピンコーティング用組成物を得る。【構成】 A.テトラアルコキシシランおよび/またはその部分加水分解物、B.沸点が110°C以上170°C以下の有機溶媒、C.水、及びD.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

請求項（抜粋）：

A.テトラアルコキシシランおよび/またはその部分加水分解物、B.沸点が110°C以上170°C以下の有機溶媒、C.水、及びD.有機カルボン酸を必須成分とするスピンコーティング用組成物。

IPC (6件)：

C09D183/02 PMN , B05D 1/40 , B05D 7/24 302 , C08G 77/02 NTZ , G11B 7/24 537 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (2件)

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