活性炭吸着型ケミカルフィルタの残り寿命推定方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130719
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321257
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】、活性炭吸着型ケミカルフィルタの残り寿命を簡易に且つ正確に推定できる方法を提供する。【解決手段】本発明の活性炭吸着型ケミカルフィルタの残り寿命推定方法では、(1)溶媒抽出法により求めたケミカルフィルタのガス成分吸着量xと該ケミカルフィルタのガス成分吸着能yとの関係を求めるとともに、前記関係から、寿命判定点とするガス成分吸着能yzに対応する該ケミカルフィルタのガス成分吸着量xzを求める第1手順と、(2)残り寿命推定の対象となる使用時間t1のケミカルフィルタをサンプリングし、そのサンプルのガス成分吸着量x1を溶媒抽出法により求める第2手順と、(3)下記式により該ケミカルフィルタの残り寿命t△を推定する第3手順とを含む。t△=t1(xz-x1)/x1

請求項（抜粋）：

活性炭吸着型ケミカルフィルタの残り寿命を推定する方法であって、(1)溶媒抽出法により求めたケミカルフィルタのガス成分吸着量xと該ケミカルフィルタのガス成分吸着能yとの関係を求めるとともに、前記関係から、寿命判定点とするガス成分吸着能yzに対応する該ケミカルフィルタのガス成分吸着量xzを求める第1手順と、(2)残り寿命推定の対象となる使用時間t1のケミカルフィルタをサンプリングし、そのサンプルのガス成分吸着量x1を溶媒抽出法により求める第2手順と、(3)下記式により該ケミカルフィルタの残り寿命t△を推定する第3手順とを含む活性炭吸着型ケミカルフィルタの残り寿命推定方法。t△=t1(xz-x1)/x1

引用特許：

審査官引用 (7件)

フィルタユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-311600 出願人：株式会社荏原製作所
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-081300 出願人：株式会社ニコン
ケミカルフィルター及びその交換方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-089691 出願人：株式会社ニコン

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