露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-081300
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275055
出願日： 1996年04月03日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】不純物除去フィルターの寿命を正確に検知しメンテナンスを適切に行うことができるようにするとともに、装置使用環境中の不純物濃度が急上昇したとき露光装置内部の汚染を回避する。【解決手段】チャンバー9内に導入される外気及びチャンバー内を循環するガスに含まれるガス状不純物除去する不純物除去フィルター13a,13bの上流側及び下流側にそれぞれ不純物濃度測定手段14a,14b、14c,14dを配置し、上流側と下流側の測定値を比較することで不純物除去フィルターの寿命を推定する。不純物濃度測定手段14aが環境中の不純物濃度の異常を示したら、外気導入ファン12を止める。

請求項（抜粋）：

紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、前記マスクの像を感光性基板上に形成する露光部と、装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、前記チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、前記チャンバー内に導入される外気もしくは前記チャンバー内を循環するガスに含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターとを含む露光装置において、前記不純物除去フィルターの上流側及び下流側にそれぞれ配置された不純物濃度測定手段と、前記不純物除去フィルターの上流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値と下流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値から前記不純物除去フィルターの寿命を推定する手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (5件)

露光装置用のフィルタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-188341 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-002956 出願人：株式会社ニコン
半導体露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-178565 出願人：キヤノン株式会社

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