特許
J-GLOBAL ID:200903060559631270
粒子状物質検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-126387
公開番号(公開出願番号):特開2009-276151
出願日: 2008年05月13日
公開日(公表日): 2009年11月26日
要約:
【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。【解決手段】一方の端部に二以上の貫通孔2が形成された一方向に長い検出装置本体1と、貫通孔2を形成する壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極11,12とを備え、前記貫通孔内に流入する流体に含有される荷電された粒子状物質、又は、前記一対の電極に電圧を印加することにより前記貫通孔内に生じる放電により荷電された、前記貫通孔内に流入する流体に含有される粒子状物質を、貫通孔2の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔2を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔2の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置100。【選択図】図2
請求項(抜粋):
一方の端部に二以上の貫通孔が形成された一方向に長い検出装置本体と、前記貫通孔を形成する壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極とを備え、
前記貫通孔内に流入する流体に含有される荷電された粒子状物質、又は、前記一対の電極に電圧を印加することにより前記貫通孔内に生じる放電により荷電された、前記貫通孔内に流入する流体に含有される粒子状物質を、前記貫通孔の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより前記貫通孔の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置。
IPC (3件):
G01N 27/02
, G01N 15/06
, G01N 27/22
FI (3件):
G01N27/02 Z
, G01N15/06 D
, G01N27/22 Z
Fターム (9件):
2G060AA01
, 2G060AD03
, 2G060AE09
, 2G060AF06
, 2G060AF10
, 2G060AG11
, 2G060GA01
, 2G060HB06
, 2G060HE01
引用特許:
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