特許

J-GLOBAL ID：200903060572805067

弾性表面波素子

発明者： 小林 泰三 ,  松井 邦行 ,  平尾 康容 ,  竹内 孝介 ,  柴田 賢一 ,  高橋 裕輔 ,  近藤 健雄 ,  清水 康敬
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社 ,  清水 康敬
代理人 (1件)： 西岡 伸泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288788
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 縦波型弾性表面波、縦波型擬似弾性表面波、又は縦波型表面辷り体積波の励振が可能な基板の表面に薄膜を形成して、電気機械結合係数を増大させると同時に、遅延時間の温度係数を最小化したものである。【構成】 タンタル酸リチウム製の基板の表面にアルミニウムからなる薄膜を形成した弾性表面波素子においては、縦波型擬似弾性表面波の伝搬方向がオイラ角表示で(40度乃至90度、40度乃至90度、0度乃至60度)及びこれと等価な範囲内であると共に、縦波型擬似弾性表面波の波数と薄膜の厚さとの積が1.0以上、望ましくは1.3乃至2.0の範囲に設定される。基板がニオブ酸リチウムの場合、および、四硼酸リチウムの場合も、波数と薄膜の厚さの積の範囲の設定をする。

請求項（抜粋）：

縦波成分が横波成分より優勢である弾性表面波、縦波成分が横波成分より優勢である擬似弾性表面波、又は縦波成分が横波成分より優勢である表面辷り体積波の励振が可能な基板を用いた弾性表面波素子において、基板表面に薄膜を形成して、前記弾性表面波、擬似弾性表面波、又は表面辷り体積波の伝搬特性を改善したことを特徴とする弾性表面波素子。

IPC (3件)：

H03H 9/25 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/145

FI (3件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/145 C

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042642   出願人：株式会社ジャパンエナジー

審査官引用 (1件)

• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-042642   出願人：株式会社ジャパンエナジー